白光干涉——神奇的精密測量世界

白光干涉

      白光干涉測量專用于非接觸式快速測量，精密零部件之重點部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓及臺階段差尺寸，其測量精度可以達到納米級！

 目前，在3D測量領域，白光干涉儀是精度最高的測量儀器之一。

白光干涉的原理及說明：

1. 干涉條紋掃描測量表面位置信息的理論根據(jù)是被測表面上各點深度不同所形成的干涉光強不同。
      2. 產(chǎn)生干涉情況下，波長與可測量的深度數(shù)據(jù)相對應。

3. 在白光干涉中，干涉圖樣是由各色光形成的單色干涉圖樣形成的。被測表面上各點的深度不同，根據(jù)光的波動性與同調性，所對應的干涉光強中各頻譜成分的強度不同，各色光的干涉級次不同。有助于更加準確的得到表面的位置信息。

白光干涉的優(yōu)勢：  

非接觸三維表面輪廓測量。 

噪音小，測量重復性好。

納米級分辨率：Z軸分辨率最高可達0.1nm

測量的點云數(shù)多：一個面最多可以達到500萬個點，點間距小，XY分辨率高。

多種視野范圍可供選擇，快速切換物鏡變換視野。

測量速度快，可實現(xiàn)在線測量。

測量案例成果

玻璃表面與油墨層段差

粗糙度標準塊測量

極片粗糙度測量

金屬表面氧化后的微觀形貌

菲涅爾透鏡形貌測量

在線測量運用案例