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    • 快速非接觸厚度測量設(shè)備

    發(fā)布日期：2024-04-10   　瀏覽次數(shù)：1063

    ? 厚度測量設(shè)備

    提供薄片厚度測量解決方案

    設(shè)備采用平面氣浮軸承技術(shù).png


    ? 快速非接觸厚度測量

    ◆   使用高精度直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)

    ◆   搭配各種位移傳感器對(duì)射測量

    ◆   最大掃描速度600mm/s

    ◆   測量精度0.5um

    ◆   可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化需求測量

    晶圓測厚 對(duì)射式.png

    廣泛用在晶圓、陶瓷片、金屬片、玻璃等薄片厚度測量用于后厚度、翹曲度、平面度，高度差等測量。

    厚度測量設(shè)備廣泛用在晶圓、陶瓷片、金屬片、玻璃等.png

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