龍門式自動(dòng)三軸平臺(tái)

發(fā)布日期:2021-12-21    瀏覽次數(shù):956

技術(shù)特點(diǎn):

最小兼容的壓力5* 10?11mbr 

最大負(fù)重24kg 

最小編碼器分辨率1nm 

最大量程150mm

因其在工業(yè)研究領(lǐng)域的納米技術(shù)尖端解決方案的開發(fā)、生產(chǎn)和分銷的卓越創(chuàng)新而享譽(yù)國(guó)際。 其產(chǎn)品組合包括,超精密驅(qū)動(dòng)單元,干涉位移傳感器和低溫顯微鏡系統(tǒng)及低溫恒溫器,其工作接近技術(shù)和物理的極限。


其室溫和低溫納米精度移動(dòng)平臺(tái), 專為納米定位而設(shè)計(jì),在極端環(huán)境條件下(如低溫,高磁場(chǎng)和超高真空)具有最高精度。適用于大氣和真空條件,并且可根據(jù)客戶的應(yīng)用提供各種不同的選擇,如使用重量輕的強(qiáng)鋁用于大氣層,而不銹鋼外殼兼容高達(dá)真空條件。

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