直線電機平臺 | LINEAR MOTOR STAGE UMS130-X 系列

直線電機平臺 | LINEAR MOTOR STAGE UMS130-X 系列

UMS130-X系列采用了高精度帶防蠕動功能的交叉滾柱導軌，配合直線電機及高分辨光柵尺，具 有體積小、負載大、噪音低等優(yōu)點。防蠕動的交叉滾柱導軌特別適合需要微步距行走的應(yīng)用，配合 高性能的驅(qū)動控制系統(tǒng)，可以穩(wěn)定走出10nm的步長，這是普通直線導軌直線電機平臺較難保證的 重要性能。因此UMS130-X系列特別適合用在高精度定位、檢測、曝光以及微加工的應(yīng)用場景。

● 非接觸式直驅(qū)電機，超高精度且擁有非常優(yōu)秀的動態(tài)性能 

● 無鐵芯電機，速度波動低于千分之一（結(jié)合指定類型驅(qū)動器，實驗室環(huán)境測試數(shù)據(jù)）

● 靜音防蠕動導軌，可確保微小步距控制 

● 使用壽命超長，長時間免維護使用

外形尺寸

技術(shù)參數(shù)